En el sector del automóvil se ha hablado mucho de los circuitos integrados, es decir, de los chips. Sin embargo, no son los únicos dispositivos de alta tecnología que se emplean en los coches. También se depende mucho de otros dispositivos bastante similares a los chips semiconductores, como son los MEMS.
Aquí te mostraré qué es eso de los MEMS y para qué aplicaciones se puede utilizar en esta industria…
¿Qué es un MEMS?
Los sistemas microelectromecánicos o MEMS (MicroElectroMechanical Systems) son dispositivos miniaturizados que combinan elementos mecánicos, eléctricos y de procesamiento de señales en un solo chip. Estos dispositivos se fabrican utilizando técnicas de microfabricación, similares a las utilizadas en la producción de circuitos integrados, pero con la incorporación de procesos adicionales para crear estructuras tridimensionales y funcionalidades mecánicas.
Estos elementos son bastante diminutos, con dimensiones que pueden ir desde tan solo unos cuantos milímetros cuadrados, pero totalmente funcionales. Además, tienen una alta precisión, bajo consumo, y coste barato debido a la producción en masa como los chips. Es más, se pueden usar las mismas técnicas y maquinaria para fabricar chips y MEMS.
Y es que la fabricación de MEMS implica una serie de pasos complejos que combinan técnicas de microfabricación tradicionales con procesos fisicoquímicos específicos para la creación de estructuras necesarias, y que son iguales a las de los chips, solo que con objetivos diferente en este caso, ya que no solo se integran elementos electrónicos como transistores, sino también mecánicos como pueden ser engranajes, etc.
Estos procesos fisicoquímicos pasan desde la fotolitografía, hasta la deposición de materiales en capas delgadas sobre sustratos, utilizando técnicas como la deposición por vapor químico (CVD), la deposición por epitaxia en fase gaseosa (EPD) o la pulverización catódica (sputtering). También se puede usar el grabado en seco, grabado húmedo mediante ácidos, o también mecanizado mediante FIB o haz